Таблица 2
Стандарт ISO 14644-1: предельные значения для классов чистоты ISO
Классификаци-
онный номер ISO
  Предельные значения максимальной концентрации (число частиц в м3 воздуха)
для частиц различных представленных ниже размеров
N ≥ 0,1 мкм ≥ 0,2 мкм ≥ 0,3 мкм ≥ 0,5 мкм ≥ 1 мкм ≥ 5 мкм
Класс ISO 1 10 2        
Класс ISO 2 100 24 10 4    
Класс ISO 3 1 000 237 102 35 8  
Класс ISO 4 10 000 2 370 1 020 352 83  
Класс ISO 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
Класс ISO 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
Класс ISO 7       352 000 83 200 2 930
Класс ISO 8       3 520 000 832 000 29 300
Класс ISO 9       35 200 000 8 320 000 293 000