Прецизионные системы кондиционирования и термостабилизация зданий микроэлектроники и нанофотоники

Precision Air Conditioning and Heat Stabilization Systems in Microelectronics and Nanophotonics Buildings

V. N. Bolomatov, Engineer, Member of TK 400 Committee "Production of Works in Building Industry. Typical Technological and Organizational Processes"; S. A. Atroschenko, Director of "AG-Klimatehnika"

Keywords: precision air conditioning systems, microelectronics, nanotechnologies, cleanliness grade, thermostating of building envelope

Modern electronics are based on nanotechnologies that operate at the level of thousandths of a micrometer (up to 2 nm). Manufacturing of microcircuits is based on photolithographic formation of layers, or images, on the surface of source plates (matrices), which is done at absolute purity of air, constant humidity and minimum air flow velocity. Special requirements apply to air temperature fluctuations  – temperature maintenance precision must be ±0.01 °С. Deviations from the preset temperature result in linear extension of the components being processed. Therefore air conditioning systems (ACS) are considered a critical part of the production process.

Современная электроника основана на нанотехнологиях, оперирующих размерами в тысячные доли микрометра (до 2 нм). Производство микросхем основано напроцессе фотолитографического формирования слоев, или рисунков, на поверхности исходных пластин (матриц), что происходит при абсолютной чистоте воздуха, постоянной влажности и минимальной скорости движения воздуха. Предъявляются особые требования к колебаниям температуры воздуха – точность поддержания температуры должна составлять ±0,01 °С. При отклонении от заданной температуры происходит линейное расширение обрабатываемых компонентов процесса. Поэтомусистемы кондиционирования воздуха (СКВ) являются критической частью производства.